GAZ

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  • Régulateur de débit massique

    ALICAT ScientificModèle : Série MC
    Gammes de débit pleine échelle :
    0...0,025 SCCM à 0...5000 SLM
    Pression d'entrée max :
    145 psig (10 Bar)
    Temps de réponse :
    < 10ms
    Description produit :
    Avec un temps de réponse inférieur à 10 ms et un temps de contrôle de 100 ms, il est l'un des MFC les plus rapides du marché.
    Cela permet un meilleur contrôle et stabilité du débit, mêmes dans des conditions difficiles.
  • Régulateur de débit massique

    ALICAT ScientificModèle : Série MCQ
    Gammes de débit pleine échelle :
    0...0,025 SCCM à 0...5000 SLM
    Pression d'entrée max :
    320 psia (22 Bar abs)
    Temps de réponse :
    < 10ms
    Description produit :
    Avec un temps de réponse inférieur à 10 ms et un temps de contrôle de 100 ms, il est l'un des MFC les plus rapides du marché.
    Cela permet un meilleur contrôle et stabilité du débit, mêmes dans des conditions difficiles.
    Version haute pression.
  • Régulateur de débit massique

    ALICAT ScientificModèle : Série MCW
    Gammes de débit pleine échelle :
    0...0,5 SCCM à 0...1000 SLM
    Pression d'entrée max :
    60 psia (4,1 Bar abs)
    Temps de réponse :
    < 10ms
    Faible perte de charge :
    jusque 5mBar !
    Description produit :
    Les MFC de la série "Whisper" d'Alicat sont conçus pour contrôler les débits lorsque la pression disponible du système est faible.
    La faible perte de charge minimise l'impact du système, permettant le contrôle du débit à des pressions proches de l'atmosphère et réduisant les temps de réponse du système.
  • Régulateur de débit massique

    ALICAT ScientificModèle : Série MCE
    Gammes de débit pleine échelle :
    0...0,5 SCCM à 0...20 SLM
    Pression d'entrée max :
    160 psia (11 Bar abs)
    Temps de réponse :
    < 10ms
    Raccords 1/4" VCR
    Description produit :
    Mettez à jour vos équipements de dépôt sous vide avec un modèle ALICAT de série MCE à la pointe de la technologie.
    Protégez l’uniformité de vos couches minces en contrôlant plus rapidement les débits de gaz réactifs.
    Cette série possède des raccords VCR ¼ » soudés et l'encombrement est aux normes SEMI.
  • Régulateur de débit massique

    ALICAT ScientificModèle : Série MCV
    Gammes de débit pleine échelle :
    0...0,5 SCCM à 0...20 SLM
    Pression d'entrée max :
    160 psia (11 Bar abs)
    Temps de réponse :
    < 10ms
    Raccords 1/4" VCR
    Vanne d'arrêt intégrée
    Description produit :
    Mettez à jour vos équipements de dépôt sous vide avec un modèle ALICAT de série MCE à la pointe de la technologie.
    Le MCV associe le MCE à une vanne d’arrêt pneumatique intégrée pour les applications de vide iafin déviter toute contamination pendant les conditions de consignes à zéro.
    Cette série possède des raccords VCR ¼ » soudés et l'encombrement est aux normes SEMI.
  • Régulateur de débit massique Aera®

    Hitachi Metals LtdModèle : Série FC-R7700
    Electronique analogique
    Gammes de débit pleine échelle :
    0...10 SCCM à 0...200SLM
    Vanne magnétique
    NO ou NF
    Étanchéité élastomère
    Raccords VCR®, VCO®, Swagelok®
    Description produit :
    Pour les ingénieurs de procédés et d'équipements travaillant sur les marchés des semi-conducteurs, des écrans plats, du stockage de données, du vide industriel et des revêtements industriels, cette série offre une grande fiabilité et des performances supérieures pour les applications de gaz non corrosifs, notamment le CVD, le PVD, la gravure, l'implantation ionique, la pulvérisation, l'oxydation thermique, le revêtement de verre optique, la fibre optique, le traitement de surface et d'autres procédés de revêtement.
  • Régulateur de débit massique Aera®

    Hitachi Metals LtdModèle : Série FC-R7800
    Electronique analogique
    Gammes de débit pleine échelle :
    0...10 SCCM à 0...200SLM
    Vanne magnétique
    NO ou NF
    Étanchéité métal
    Raccords VCR®, VCO®, Swagelok®
    Description produit :
    Pour les ingénieurs de procédés et d'équipements travaillant sur les marchés des semi-conducteurs, des écrans plats, du stockage de données, du vide industriel et des revêtements industriels, cette série offre une grande fiabilité et des performances supérieures pour les applications de gaz non corrosifs, notamment le CVD, le PVD, la gravure, l'implantation ionique, la pulvérisation, l'oxydation thermique, le revêtement de verre optique, la fibre optique, le traitement de surface et d'autres procédés de revêtement.
  • Régulateur de débit massique Aera®

    Hitachi Metals LtdModèle : Série Transformer®
    Electronique numérique
    Programmables Multi-gaz, Multi-gammes
    Gammes de débit pleine échelle :
    0...10 SCCM à 0...200SLM
    Vanne magnétique NO ou NF
    Étanchéité métal
    Description produit :
    Conçus avec des composants de la plate-forme Aera® et des circuits numériques haute vitesse éprouvés sur le terrain, les MFC Transformer offrent une performance de fiabilité supérieure, avec une dérive du zéro de < 0,5 % sur un an. Ils fournissent les résultats constants que vous attendez des produits Aera®, augmentant l'efficacité et la répétabilité de vos process, maximisant les performances et améliorant les rendements.
    Avec seulement 8 MFC Transformer multigaz et multigamme, vous pouvez remplacer des centaines de "spares" et de références !
  • Régulateur de débit massique Aera®

    Hitachi Metals LtdModèle : Série HC100
    Temps de réponse ultra-rapide (0.5 sec)
    10 millions de cycles
    Construction robuste pour les procédés ALD
    Communications :
    DeviceNet, RS-485/analogique, EtherCAT®
    Programmable Multi-gaz, Multi-gammes
    Gammes de débit pleine échelle :
    0...10 SCCM à 0...50SLM
    Vanne piezoélectrique
    NO ou NF
    Étanchéité métal
    Description produit :
    Les séries HC100/HM100 ont des performances essentielles améliorées comme le temps de réponse, la robustesse pour les procédés ALD, la fonction de vanne d'arrêt, la plage de contrôle, la précision du débit.
    Dans les procédés ALD, la fréquence d'ouverture/fermeture est importante. La série HC100 est conçue pour supporter 10 millions de cycles de vie, grâce à un circuit de pilotage optimise, un élément PIEZO dans la vanne, et un diaphragme en alliage Co-Ni.

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