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Piège pour le vide, multi étage
Mass VacModèle : MV Multi-Trap®
- Protection des pompes à palettes et pompes sèches
- Grande capacité, haute conductance
- Protège le process des rétrodiffusions d'huile
- Description produit :
- Adapté aux procédés (SEMI ou non) :
- LPCVD, PECVD, ALD, MOCVD, Gravure métal, HVPE,...
- 3 étages de piégeage :
- Étage #1 :
- Stoppe les grosses particules, condense les liquides/solides volatiles sur des grandes surfaces
- Module de refroidissement optionnel (eau ou liquide réfrigérante) :
- améliore la condensation, abaisse la température des gaz
- Étages #2 & #3 :
- filtrent les particules de plus en plus fines et les éléments corrosifs (personnalisable)
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Pinnacle 3000
Advanced Energy
- Produit Obsolète
- Description produit :
- Retrofit possible vers Pinnacle
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Pinnacle Diamond
Advanced Energy
- Produit Obsolète
- Description produit :
- Retrofit possible vers Pinnacle
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Pompes de process liquide
SMCModèle : PA/PAX
- Longue durée de vie :
- 2 à 5 fois plus que les pompes conventionnelles Grande résistance à l'abrasion / faible production de poussières
- Description produit :
- Les pompes de process série PA ont été développées pour le transvasement d'une large gamme de produits chimique. Les pompes de process pneumatiques peuvent atteindre des débit de 45 l/min. Certains modèles intègrent directement l'electrodistributeur dans les corps de la pompe.
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Pompes de process liquide
SMCModèle : PB
- Tient dans la main Débit :
- 8 à 2000ml/min Très légère
- Description produit :
- Les pompes de process compactes série PB ont été développées pour le transvasement et la collecte d'une large gamme de produits chimique. Les pompes PB1313A sont même spécialement conçu pour l'utilisation en salle blanche avec leur double emballage, leur corps en PFA et les membranes en PTFE.
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Pompes de process liquide
SMCModèle : PAF
- Construction sans métal Débit :
- jusqu'à 45l/min Légère et compacte Construction double PPS/PFA
- Description produit :
- Les pompes de process série PAF ont été développées pour le transvasement d'une large gamme de produits chimique graçe à leur corps en nouveau PFA et leurs membranes en PTFE dénaturé. Les pompes de process pneumatiques peuvent atteindre des débit de 45 l/min.
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Pressostat différentiel
UE Precision SensorsModèle : D48W
- Gamme en différentielle :
- 26,6..3333 mBar
- Haute précision et répétabilité
- Durée de vie :
- 500 000 cycles
- Description produit :
- Le pressostat différentiel complète leurs séries de pressostats absolu, vide et surpression.
- Conçu spécialement pour les process où la précision et la durée de vie sont nécessaires.
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Pressostat electronique ISE/ZSE20
SMCModèle : ISE/ZSE20
- Afficheur robuste, lecture très facile
- Plage de pression :
- -0.1 à 2 Mpa
- Nombreuses configurations disponibles
- Description produit :
- Les séries ISE/ZSE20 de SMC sont des pressostats digitals de haute précision bénéficiant d'un triple affichage tricolore pour plus de facilité de lecture. Ils sont compatible avec l'air, les gaz non corrosif, non inflammable ou les fluides généraux.
- Dotés d'une bonne répétitivité (±0.2 % E.M), ils peuvent être utilisés sur une plage de pression allant de -0.1 à 2 MPa
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Pressostat electronique ISE70
SMCModèle : ISE70
- Afficheur angulaire et rotatif
- Plage de pression :
- 0 à 10 Mpa Nombreuses configurations disponibles
- Description produit :
- Les séries ISE70 de SMC sont des pressostats digitaux de haute précision bénéficiant d'un écran à trois zones d'affichage, celui ci est incliné et rotatif pour plus de facilité de lecture. Ils sont compatible avec l'air, les gaz non corrosif, non inflammable ou les fluides généraux.