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Pyromètre MXE
Advanced EnergyModèle : MXE
- Mesure de température et d'émissivité
- Echantillonnage jusqu'à 10 kHz
- Description produit :
- Le MXE mesure à des taux d'échantillonnage ultra-hauts (jusqu'à 10 kHz) et offre une combinaison de température et de émissivité active pour un contrôle précis des processus dynamiques.
- - Mesure précise de la température permettant un contrôle du processus en boucle fermée.
- - Longueur d'onde configurable en fonction du type de matériau et de la plage de température requise
- - Communications analogiques et numériques
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Pyromètre OR400M
Advanced EnergyModèle : OR400 M
- 1 voie
- 50 à 1300°C
- Longueur d'onde 3.3 à 5.2 µm,
- Description produit :
- L'OR400M offre la mesure précise de la température essentielle aux applications de semi-conducteurs qui nécessitent des longueurs d'onde plus importantes.
- - Longueur d'onde configurable en fonction du type de matériau et de la plage de température requise.
- - Capteur optique intégré
- - Communications analogiques et numériques avec protocoles Fieldbus en option pour un contrôle en boucle fermée
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Rapid OX
Advanced EnergyModèle : Rapid OX
- Puissance jusqu'à 6kW
- Pour nettoyage Oxygène
- Description produit :
- Avec un revêtement de chambre en quartz unique, insérable et amovible par l'utilisateur, le Rapid OX d'Advanced Energy est optimal pour les procédés à base d'oxygène.
- Idéal pour le nettoyage des chambres de photorésist et de carbone :
- Le revêtement en quartz réduit la recombinaison de l'oxygène et assure un transport efficace des espèces réactives vers la chambre de traitement.
- Des performances parfaites :
- 6 kW de puissance pour dissocier l'oxygène avec une fréquence variable et un contrôle de la puissance.
- Conception fiable :
- La conception de la chambre et de l'insert amovible offre une meilleure fiabilité que les chambres entièrement en quartz
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Réchauffeur de fluide FLUENT
WatlowModèle : FLUENT
- Construction compacte
- Thermocouple intégré
- Température max :
- 350°C
- Pression max :
- 10.2 bar
- Description produit :
- Le nouvel élément de chauffage en ligne FLUENT de Watlow est un élément de chauffage compact, léger et haute performance, pouvant replacer autant les éléments chauffants traditionnels de type immersion, ou les éléments chauffants enroulés autour d’un tube dans un système thermique. L’élément de chauffage FLUENT de Watlow est conçu comme une solution intégrée remplaçant plusieurs composants dans un système. Cette conception d’élément de chauffage réduit le coût total et la complexité d’un système.
- En raison de sa densité de puissance élevée, il offre une réponse ultra-rapide, ce qui résulte en des performances système supérieures.
- Disposant de la technologie brevetée par dépose plasma de Watlow, l’élément de chauffage utilise sa surface entière afin de produire de la chaleur, ce qui optimise le transfert thermique et l’uniformité de température
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Réchauffeur de gaz STARFLOW
WatlowModèle : STARFLOW
- Construction compacte
- Materiaux en contact :
- inox 316L
- Température max :
- 537°C Temps de réponse rapide
- Description produit :
- L’élément de chauffage à circulation STARFLOW est conçu pour chauffer un débit gazeux jusqu’à 537 °C (1 000 °F). La chambre en acier inoxydable 316L de l’élément de chauffage à circulation abrite un élément gainé de faible diamètre qui permet une réaction rapide des cycles de réchauffement et de refroidissement.
- L’élément de chauffage à câble spiralé en étoile de Watlow fournit un chauffage extrêmement efficace et fiable en maximisant la zone de contact du gaz ou du liquide avec l’élément. Du fait que l’élément est gainé, l’unité peut fonctionner avec des flux gazeux qui nécessitent un environnement propre ainsi qu’avec des atmosphères contenant des produits contaminants et de l’humidité.
- Cet élément de chauffage à circulation fournit une performance supérieure par rapport aux unités avec fils résistifs exposés en interne ou ouverts.
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Régulateur de débit massique
ALICAT ScientificModèle : Série MC
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...0,025 SCCM à 0...5000 SLM
- Pression d'entrée max :
- 145 psig (10 Bar)
- Temps de réponse :
- < 10ms
- Description produit :
- Avec un temps de réponse inférieur à 10 ms et un temps de contrôle de 100 ms, il est l'un des MFC les plus rapides du marché.
- Cela permet un meilleur contrôle et stabilité du débit, mêmes dans des conditions difficiles.
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Régulateur de débit massique
ALICAT ScientificModèle : Série MCQ- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...0,025 SCCM à 0...5000 SLM
- Pression d'entrée max :
- 320 psia (22 Bar abs)
- Temps de réponse :
- < 10ms
- Description produit :
- Avec un temps de réponse inférieur à 10 ms et un temps de contrôle de 100 ms, il est l'un des MFC les plus rapides du marché.
- Cela permet un meilleur contrôle et stabilité du débit, mêmes dans des conditions difficiles.
- Version haute pression.
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Régulateur de débit massique
ALICAT ScientificModèle : Série MCW
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...0,5 SCCM à 0...1000 SLM
- Pression d'entrée max :
- 60 psia (4,1 Bar abs)
- Temps de réponse :
- < 10ms
- Faible perte de charge :
- jusque 5mBar !
- Description produit :
- Les MFC de la série "Whisper" d'Alicat sont conçus pour contrôler les débits lorsque la pression disponible du système est faible.
- La faible perte de charge minimise l'impact du système, permettant le contrôle du débit à des pressions proches de l'atmosphère et réduisant les temps de réponse du système.
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Régulateur de débit massique
ALICAT ScientificModèle : Série MCE
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...0,5 SCCM à 0...20 SLM
- Pression d'entrée max :
- 160 psia (11 Bar abs)
- Temps de réponse :
- < 10ms
- Raccords 1/4" VCR
- Description produit :
- Mettez à jour vos équipements de dépôt sous vide avec un modèle ALICAT de série MCE à la pointe de la technologie.
- Protégez l’uniformité de vos couches minces en contrôlant plus rapidement les débits de gaz réactifs.
- Cette série possède des raccords VCR ¼ » soudés et l'encombrement est aux normes SEMI.