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Tous nos produits
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Régulateur de débit massique
ALICAT ScientificModèle : Série MCV
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...0,5 SCCM à 0...20 SLM
- Pression d'entrée max :
- 160 psia (11 Bar abs)
- Temps de réponse :
- < 10ms
- Raccords 1/4" VCR
- Vanne d'arrêt intégrée
- Description produit :
- Mettez à jour vos équipements de dépôt sous vide avec un modèle ALICAT de série MCE à la pointe de la technologie.
- Le MCV associe le MCE à une vanne d’arrêt pneumatique intégrée pour les applications de vide iafin déviter toute contamination pendant les conditions de consignes à zéro.
- Cette série possède des raccords VCR ¼ » soudés et l'encombrement est aux normes SEMI.
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Régulateur de débit massique
ALICAT ScientificModèle : Série LC
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...0,05 SCCM à 0...10 SLM
- Pression d'entrée max :
- 100 psig (6,9 Bar)
- Temps de réponse :
- < 25ms
- Description produit :
- Réalisez des relevés de débit, de pression et de température en temps réel, le tout simplement depuis l’écran LCD du régulateur.
- Des étalonnages embarqués sont disponibles pour l’eau, le méthanol, l’isopropanol, l’éthanol, l’ammoniac, le diméthyléther, l’isopentane, le thiophène, l’isooctane ou l’heptane.
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Régulateur de débit massique Aera®
Hitachi Metals LtdModèle : Série FC-R7700
- Electronique analogique
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...10 SCCM à 0...200SLM
- Vanne magnétique
- NO ou NF
- Étanchéité élastomère
- Raccords VCR®, VCO®, Swagelok®
- Description produit :
- Pour les ingénieurs de procédés et d'équipements travaillant sur les marchés des semi-conducteurs, des écrans plats, du stockage de données, du vide industriel et des revêtements industriels, cette série offre une grande fiabilité et des performances supérieures pour les applications de gaz non corrosifs, notamment le CVD, le PVD, la gravure, l'implantation ionique, la pulvérisation, l'oxydation thermique, le revêtement de verre optique, la fibre optique, le traitement de surface et d'autres procédés de revêtement.
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Régulateur de débit massique Aera®
Hitachi Metals LtdModèle : Série FC-R7800
- Electronique analogique
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...10 SCCM à 0...200SLM
- Vanne magnétique
- NO ou NF
- Étanchéité métal
- Raccords VCR®, VCO®, Swagelok®
- Description produit :
- Pour les ingénieurs de procédés et d'équipements travaillant sur les marchés des semi-conducteurs, des écrans plats, du stockage de données, du vide industriel et des revêtements industriels, cette série offre une grande fiabilité et des performances supérieures pour les applications de gaz non corrosifs, notamment le CVD, le PVD, la gravure, l'implantation ionique, la pulvérisation, l'oxydation thermique, le revêtement de verre optique, la fibre optique, le traitement de surface et d'autres procédés de revêtement.
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Régulateur de débit massique Aera®
Hitachi Metals LtdModèle : Série Transformer®
- Electronique numérique
- Programmables Multi-gaz, Multi-gammes
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...10 SCCM à 0...200SLM
- Vanne magnétique NO ou NF
- Étanchéité métal
- Description produit :
- Conçus avec des composants de la plate-forme Aera® et des circuits numériques haute vitesse éprouvés sur le terrain, les MFC Transformer offrent une performance de fiabilité supérieure, avec une dérive du zéro de < 0,5 % sur un an. Ils fournissent les résultats constants que vous attendez des produits Aera®, augmentant l'efficacité et la répétabilité de vos process, maximisant les performances et améliorant les rendements.
- Avec seulement 8 MFC Transformer multigaz et multigamme, vous pouvez remplacer des centaines de "spares" et de références !
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Régulateur de débit massique Aera®
Hitachi Metals LtdModèle : Série HC100
- Temps de réponse ultra-rapide (0.5 sec)
- 10 millions de cycles
- Construction robuste pour les procédés ALD
- Communications :
- DeviceNet, RS-485/analogique, EtherCAT®
- Programmable Multi-gaz, Multi-gammes
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...10 SCCM à 0...50SLM
- Vanne piezoélectrique
- NO ou NF
- Étanchéité métal
- Description produit :
- Les séries HC100/HM100 ont des performances essentielles améliorées comme le temps de réponse, la robustesse pour les procédés ALD, la fonction de vanne d'arrêt, la plage de contrôle, la précision du débit.
- Dans les procédés ALD, la fréquence d'ouverture/fermeture est importante. La série HC100 est conçue pour supporter 10 millions de cycles de vie, grâce à un circuit de pilotage optimise, un élément PIEZO dans la vanne, et un diaphragme en alliage Co-Ni.
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Régulateur de débit massique Aera®
Hitachi Metals LtdModèle : Série HC102
- Temps de réponse ultra-rapide (0.7 sec)
- 10 millions de cycles
- Construction robuste pour les procédés ALD
- Communications :
- DeviceNet, RS-485/analogique, EtherCAT®
- Programmable Multi-gaz, Multi-gammes
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...50SLM à 0...200SLM
- Vanne piezoélectrique
- NO ou NF
- Étanchéité métal
- Description produit :
- La série HC102 est le modèle MFC numérique pour très haut débit (Multi-Gaz Multi-Gamme).
- Il conserve les caractéristiques de la gamme HC100 en terme de précision et de plage de contrôle du débit.
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Régulateur de débit massique Aera®
Hitachi Metals LtdModèle : Série HG200
- Temps de réponse ultra-rapide (0.3 sec)
- Fonctionnement "pressure insensitive" (compensé en pression)
- Fonction Auto-diagnostic et apprentissage des réponses
- Construction robuste pour les procédés ALD
- Communications :
- DeviceNet, RS-485/analogique, EtherCAT®
- Programmable Multi-gaz, Multi-gammes
- Gammes de débit pleine échelle :
- 0...10 SCCM à 0...50SLM
- Vanne piezoélectrique
- NO ou NF
- Étanchéité métal
- Description produit :
- La série HG200 a des performances essentielles améliorées comme le temps de réponse, la robustesse pour les procédés ALD, la fonction de vanne d'arrêt, la plage de contrôle, la précision du débit.
- Elle satisfait à un excellent temps de réponse, 0.3s (de Multi-1 à Multi-5) grâce à l'utilisation d'un algorithme amélioré.
- La fonction "pression insensitive" permet un contrôle stable du débit en cas de fluctuation de la pression en amont ou en aval du MFC.
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Régulateur de débit PVQ
SMCModèle : PVQ
- Corps en laiton ou inox.
- Contrôle du débit par un signal analogique externe Débit :
- Jusqu'à 100 l/min
- Description produit :
- Les applications qui requièrent des débits sans à-coups et précis bénéficient désormais de l'application parfaite grâce a l'électrovanne proportionnelle de la nouvelle série PVQ.Conçue pour une large gamme dapplications y compris de vide (0,1 Pa abs), la vanne PVQ règle le débit avec précision et sans à-coups en réglant de façon externe l'entrée du courant électrique. Le revêtement spécial des pièces mobiles externes permet daccroître la durée de vie jusqu'à plus de 25 millions de cycle et de réduire à un minimum le bruit émis pendant l'ouverture et la fermeture de la vanne.