POWER & PLASMAS
Tous nos produits
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MDX II
Advanced Energy
- Produit Obsolète
- Description produit :
- Retrofit possible vers Pinnacle
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MDX-L
Advanced Energy
- Produit Obsolète
- Description produit :
- Retrofit possible vers Pinnacle
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Navio
Advanced EnergyModèle : Navio™
- Pour des générateurs RF jusqu'à 5 kW
- Fréquence de 13 à 60 MHz
- Interface compatible générateur Cesar
- Description produit :
- La boite d'accord Navio offre une adaptation d'impédance rapide, précise et reproductible pour de nombreuses applications.
- Installation plug-and-play avec les alimentations RF d'Advanced Energy pour les applications à couche mince.
- Fourniture de puissance efficace et stable
- Compact et refroidi par air (boîtier standard ou version mince)
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PDX
Advanced EnergyModèle : PDX
- Produit Legacy
- Version Basse puissance de 1250 ou 1400W
- Version haute puissance de 5 ou 8 kW
- Description produit :
- La série PDX® offre un contrôle de processus extrêmement précis et reproductible, contribuant à garantir l'uniformité du processus et un rendement élevé. Sa large gamme de fréquences de fonctionnement permet un contrôle optimal dans de nombreuses applications.
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PE
Advanced Energy- Produit Obsolète
- Description produit :
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Pinnacle 3000
Advanced Energy
- Produit Obsolète
- Description produit :
- Retrofit possible vers Pinnacle
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Pinnacle Diamond
Advanced Energy
- Produit Obsolète
- Description produit :
- Retrofit possible vers Pinnacle
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PULSAR
Advanced Energy- Produit Obsolète
- Description produit :
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Rapid OX
Advanced EnergyModèle : Rapid OX
- Puissance jusqu'à 6kW
- Pour nettoyage Oxygène
- Description produit :
- Avec un revêtement de chambre en quartz unique, insérable et amovible par l'utilisateur, le Rapid OX d'Advanced Energy est optimal pour les procédés à base d'oxygène.
- Idéal pour le nettoyage des chambres de photorésist et de carbone :
- Le revêtement en quartz réduit la recombinaison de l'oxygène et assure un transport efficace des espèces réactives vers la chambre de traitement.
- Des performances parfaites :
- 6 kW de puissance pour dissocier l'oxygène avec une fréquence variable et un contrôle de la puissance.
- Conception fiable :
- La conception de la chambre et de l'insert amovible offre une meilleure fiabilité que les chambres entièrement en quartz